고순도 SiC 퍼니스 챔버 단열 배럴
제품 설명
재결정된 탄화규소 절연 배럴은 고급 고온 산업 장비의 핵심 구성 요소로, 특히 반도체, 태양광, 특수 세라믹 및 기타 분야의 고온 처리 공정에서 대체할 수 없는 장점을 보여줍니다.로 챔버 절연 배럴의 기능은 칩 제조의 생산 환경, 즉 매우 깨끗하고 정밀한 생산 환경을 보호하는 것입니다.
퍼니스 챔버 단열 배럴은 질화규소로 구성되어 있으며, 탄화규소 단열 배럴이라고도 합니다. 탄화규소 단열 배럴은 온도가 아닌 환경 상태의 안정성을 보장합니다. 일정하고 순수하며 불활성인 '미기후'를 유지합니다. SiC 단열 배럴은 수백만 달러 상당의 웨이퍼를 보호하고 칩 수율을 보장하는 최첨단 첨단 용기입니다. SiC 단열 배럴은 칩 제조에 필수적인 부품입니다.
RSiC 절연 배럴의 특성
1. 초고온 안정성: 내열온도 한계, 장기 사용 온도는 1600℃에 도달할 수 있으며, 단기 내열온도는 1800℃입니다.
2. 고온 강도 유지: 탄화규소 절연 배럴의 1500℃에서의 압축 강도는 100MPa 이상인 반면, 알루미나 절연 재료의 강도는 동일 온도에서 50% 이상 저하됩니다.
3. 최고의 열 효율: SiC 절연 배럴은 800℃에서 0.8~1.2 W/(m·K)의 낮은 열전도도를 가지며, 특수 기공 구조 설계를 통해 일반 탄화규소 소재 대비 40% 낮은 열전도도를 달성했습니다. 다층 반사 구조: 높은 복사열 반사율을 가진 RSiC 소재를 사용합니다.
4. 화학적 불활성: 내식성: SiC 절연 배럴은 염산, HF, H2SO4 증기와 같은 산성 가스, Na2CO3 용융염과 같은 알칼리성 환경, 알, 구리, 애그 등과 같은 금속 용융물에 견딜 수 있습니다.
5. SiC 절연 배럴은 수명이 길다.
특징 및 이점
· 고온 저항성
· 열충격 저항성
· 높은 열전도도
· 높은 기계적 강도
· 산 및 알칼리 저항성
· 내마모성
주요 매개변수
고온 가마 장비 산업 | RSiC |
SiC 함량(%) | ≥99% |
체적 밀도(g/센티미터3) | 2.65~2.75 |
겉보기 기공률(%) | <17 |
실온강도(MPa) | 90~100 |
강도 1300℃(MPa) | 100-110 |
20℃에서의 탄성계수 | 240 |
1200℃에서의 열전도도(W/엠케이) | 36 |
열팽창 x10-6/℃ | 4.6 |
최대 사용 온도(℃) | 1650℃ |
20°C에서의 경도(킬로그램/mm2) | 2000 |
20°에서의 파괴인성(엠팍스엠1/2) | 2.0 |
제품 상세 정보
절연 실린더는 초고순도를 가지고 있습니다. 소결체의 순도는 3N 이상이고, 가공 정확도는 0.01mm에 도달할 수 있습니다.
포장
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