롱 티스 8인치 웨이퍼 보트 RSiC 고순도
8인치 웨이퍼 보트는 재결정 탄화규소(RSiC)로 제조된 특수 캐리어 장치로, 200mm 웨이퍼 공정용으로 특별히 설계되었습니다. 이 8인치 웨이퍼 보트는 독특한 롱투스(긴-이빨) 디자인을 특징으로 하며, 방열 효율을 크게 향상시키고 고밀도 멀티칩 집적을 지원합니다. RSiC 웨이퍼 보트는 고온 내성, 내부식성, 우수한 기계적 강도, 우수한 반도체 특성 등 탁월한 성능 특성을 보여주어 집적 회로 제조, 주도의 생산 및 기타 마이크로 전자 응용 분야에 필수적인 요소입니다.
이 8인치 웨이퍼 보트는 최소한의 오염 수준과 정밀한 제조 공차를 유지하여 고온 반도체 제조 공정에 안정적인 지원을 제공합니다. 당사는 타일형 보트, 3컬럼 및 4컬럼 구조 등 다양한 구성을 생산하며, 6인치/8인치/12인치 사양으로 제공됩니다. RSiC 웨이퍼 보트는 반도체 및 태양광 분야에서 광범위하게 적용되며, 특히 소형 웨이퍼의 산화 및 이온 주입 공정에 적합합니다.
재료 기술 매개변수
반도체/태양광 산업 | RSiC |
SiC 순도(%) | 99.9-99.99 |
체적 밀도(g/센티미터3) | 2.65-2.75 |
겉보기 기공률(%) | 15-16 |
실온강도(MPa) | 90 |
1300℃에서의 강도(MPa) | 100 |
소결체의 연결 강도(MPa) | 25 |
제품 상세 정보
RSiC 웨이퍼 보트는 200mm(8인치) 웨이퍼용으로 특별히 설계된 프리미엄급 캐리어 솔루션으로, 확산 및 산화 단계를 포함한 핵심 반도체 열 공정에 널리 사용됩니다. 이 첨단 8인치 웨이퍼 보트는 재결정화된 탄화규소를 기본 소재로 사용하며, 화학 기상 증착(CVD) 기술을 통해 탄화규소 코팅을 강화하여 구조적 무결성과 탁월한 표면 보호 기능을 효과적으로 결합합니다.
RSiC 웨이퍼 보트는 기판과 코팅 사이의 완벽한 열팽창 호환성을 유지하여 균열이나 박리 위험을 제거합니다.
RSiC 웨이퍼 보트는 탄화규소 고유의 높은 융점과 화학적 불활성으로 인해 탁월한 열 안정성을 제공하며, 1250°C 이상의 가공 온도에서도 연화, 변형 또는 환경 오염 없이 일관된 구조적 무결성과 성능을 유지합니다. 일반적인 사용 수명이 2~3년인 이 8인치 웨이퍼 보트는 교체 빈도와 유지보수 비용을 크게 줄여 장비 가동 중단 시간을 최소화하고 생산 경제성을 향상시킵니다.
포장
회사 소개
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