반도체 고순도 RSiC 퍼니스 튜브
제품 설명
현대 칩 제조의 초석인 반도체 퍼니스는 핵심 부품인 RSiC 퍼니스 튜브에 의존합니다. 이 고순도 탄화규소 퍼니스 튜브는 수직 또는 수평 확산 및 산화 퍼니스의 핵심 역할을 합니다. 이 튜브 내에서 특수 캐리어에 담긴 웨이퍼는 제어된 분위기에서 정밀한 고온 공정을 거칩니다. 필수적인 고온 플랫폼인 RSiC 퍼니스 튜브는 열 산화, 확산, LPCVD, 어닐링을 포함한 주요 반도체 공정의 핵심 요소로서 탁월한 균일성, 안정성 및 생산 능력을 제공합니다.
RSiC 퍼니스 튜브의 특성
고온 반도체 장비에 실리콘 카바이드 소재를 적용하면 다음과 같은 몇 가지 중요한 이점이 있습니다.
뛰어난 고온 안정성: 1600°C가 넘는 환경에서 장기간 작동이 가능하며, 단기 허용 온도는 최대 1800°C입니다.
뛰어난 열 충격 저항성: 높은 열전도도와 낮은 열팽창 계수의 조합으로 인해 실리콘 카바이드 퍼니스 튜브는 손상 없이 빠른 가열 및 냉각 사이클을 견딜 수 있습니다.
뛰어난 화학적 불활성: 산, 알칼리 및 다양한 공정 가스에 대한 우수한 부식 저항성을 보여 공정 순도를 보장합니다.
높은 기계적 강도 및 경도: 높은 열 및 기계적 부하 하에서 구조적 무결성을 유지하고 변형을 저항하여 장기적인 내구성을 보장합니다.
균일한 열장 분포: 모든 웨이퍼에 걸쳐 공정 균일성을 위해 중요한 최소한의 벽 기울기로 매우 일관된 온도 프로파일을 유지하도록 설계되었습니다.
특징 및 이점
극한 온도 저항성: 가장 까다로운 열 처리 공정에서도 성능과 수명을 보장합니다.
빠른 열 사이클링 기능: 견고한 RSiC 퍼니스 튜브는 공격적인 가열 및 냉각 속도를 처리할 수 있어 생산성을 높이고 사이클 시간을 단축합니다.
높은 열전도도: 실리콘 카바이드 퍼니스 튜브 내에서 효율적인 열전달과 안정적이고 균일한 열 환경을 보장합니다.
뛰어난 구조적 무결성: 웨이퍼 보트의 장기간 사용에 걸쳐 안정적이고 처짐 없는 지지력을 제공합니다.
뛰어난 내식성 및 내마모성: 공격적인 공정 화학물질과 대기 침식으로부터 보호하여 입자 생성과 오염을 최소화합니다.
주요 매개변수
고온 가마 장비 산업 | RSiC |
SiC 함량(%) | ≥99% |
체적 밀도(g/센티미터3) | 2.65~2.75 |
겉보기 기공률(%) | <17 |
실온강도(MPa) | 90~100 |
강도 1300℃(MPa) | 100-110 |
20℃에서의 탄성계수 | 240 |
1200℃에서의 열전도도(W/엠케이) | 36 |
열팽창 x10-6/℃ | 4.6 |
최대 사용 온도(℃) | 1650℃ |
20°C에서의 경도(킬로그램/mm2) | 2000 |
20°에서의 파괴인성(엠팍스엠1/2) | 2.0 |
제품 상세 정보
반도체 제조에서 RSiC 퍼니스 튜브는 고온 장비의 핵심 용기입니다. 이 고순도 탄화규소 퍼니스 튜브는 웨이퍼 공정에 필수적인 밀폐되고 균일하며 오염 물질이 없는 환경을 조성합니다.
주요 기능:
웨이퍼(웨이퍼 보트에 적재)를 보관하고 확산, 산화, 어닐링, 박막 증착과 같은 중요한 고온 단계를 용이하게 합니다.
밀폐된 공간을 제공하기 위해 RSiC 퍼니스 튜브는 반응성 가스(예: O₂, N₂)의 흐름과 분배를 정밀하게 제어할 수 있습니다.
RSiC 퍼니스 튜브의 뛰어난 특성은 공정의 일관성을 보장하고 수율을 극대화하며 첨단 반도체 소자 생산에 필수적입니다.
포장
우리의 장점
라이즈포트 글로벌 트레이더스 유한회사(선양)는 실리콘 카바이드(SiC) 제품에 중점을 두고 있으며, 자원 통합을 통해 SiC 산업 체인 전반에 걸친 국경 간 무역 서비스 모델을 구축했습니다. 전체 산업 체인의 차별화된 측면을 포괄하고, 원자재 공급, 제품 맞춤화 및 기타 연결 고리를 통합함으로써 경쟁 우위를 확보하고 있습니다. 중앙 집중식 조달을 통해 한계 비용을 절감하고 신속한 대응을 실현하여 구매자의 효율성을 높이고 비용을 절감합니다. 다양한 고객 요구에 부응하는 맞춤형 제품 서비스를 제공하고, 물류, 통관, 결제 등의 연결 고리를 연결하여 완벽한 프로세스와 편리한 서비스를 제공합니다.
