6인치 웨이퍼 보트 SiC 반도체 고경도
실리콘 카바이드 웨이퍼 보트는 여러 가지 중요한 장점을 가지고 있으며, SiC 웨이퍼 보트는 고온, 높은 청정도, 강한 부식과 같은 혹독한 환경에서도 탁월합니다.
탄화규소 웨이퍼 보트는 높은 열 안정성을 가지고 있습니다. SiC 웨이퍼 보트의 장기 작동 온도는 1350℃~1650℃에 달하여 화학 기상 증착(CVD), 확산, 어닐링 등 주요 반도체 공정의 요구 사항을 충족할 수 있습니다. SiC 웨이퍼 보트는 1700℃에서도 단시간 동안 연화되거나 변형되지 않습니다. SiC 웨이퍼 보트는 탄화규소 단일 웨이퍼로와 같은 고급 장비에 적합합니다.
실리콘 카바이드 웨이퍼 보트는 열팽창 계수가 낮고 열충격 안정성이 우수하여 급격한 온도 변화를 견뎌내고 열응력으로 인한 구조적 균열을 줄일 수 있습니다. 복잡한 고온 환경에서도 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트는 우수한 형태와 성능을 유지할 수 있습니다.
SiC 웨이퍼 보트는 표면 청정도가 매우 높고 오염이 적습니다. 이 소재는 순도가 높고 금속 불순물 함량이 매우 낮아 실리콘 웨이퍼의 2차 오염을 방지할 수 있습니다. 표면 거칠기(라)는 0.1μm 미만으로 제어 가능하여 첨단 공정의 엄격한 청정도 요건을 충족합니다.
또한, SiC 웨이퍼 보트 맞춤 제작은 버가 없고 손상되지 않은 톱니 홈을 구현하며, 4인치 웨이퍼 보트, 6인치 웨이퍼 보트, 8인치 웨이퍼 보트, 12인치 웨이퍼 보트 등 다양한 크기로 맞춤 제작이 가능합니다.
마지막으로, SiC 웨이퍼 보트 구조는 강도가 높고 수명이 길어 기존 석영 보트보다 평균 수명이 5~10배 더 길어 장비 교체 빈도와 전반적인 소유 비용을 크게 줄일 수 있습니다.
재료 기술 매개변수
반도체/태양광 산업 | RSiC |
SiC 순도(%) | 99.9-99.99 |
체적 밀도(g/센티미터3) | 2.65-2.75 |
겉보기 기공률(%) | 15-16 |
실온 강도(MPa) | 90 |
1300℃에서의 강도(MPa) | 100 |
소결체의 접합강도(MPa) | 25 |
제품 상세 정보
본 제품은 6인치 웨이퍼 보트입니다. 직경은 150mm이며, 해당 6인치 웨이퍼를 운반하는 데 사용됩니다. 6인치 웨이퍼 보트는 일반적으로 25~100개의 웨이퍼를 수용할 수 있습니다.
석영 소재와 비교했을 때, 6인치 웨이퍼 보트는 탄화규소 세라믹의 다양한 특성을 가지고 있습니다. 6인치 웨이퍼 보트는 굽힘 응력, 변형 및 열 변형이 발생하기 쉽지 않으며, 웨이퍼 제조 접합부의 강한 부식 및 초고온과 같은 가혹한 반응 환경에도 잘 적응합니다. 탄화규소 세라믹은 웨이퍼 보트에 가장 적합한 소재이며, 6인치 웨이퍼 보트는 웨이퍼 보트 시장에서도 떠오르는 제품입니다.
포장
회사 소개
라이즈포트 글로벌 상인들 유한회사.(선양)는 맞춤형 실리콘 카바이드 솔루션을 전문으로 하는 산업-무역 통합 기업입니다. 당사는 포괄적인 OEM 및 ODM 서비스를 제공하며, 치수 맞춤화 및 기술 설계를 통해 맞춤형 가마 가구를 제공합니다. 샘플 검증 및 엄격한 품질 기준을 바탕으로 다양한 생산 요구 사항에 대한 안정적인 성능을 보장합니다.
