4열 웨이퍼 캐리어 RSiC 반도체 팔레트
RSiC 웨이퍼 캐리어는 프리미엄 실리콘 카바이드(SiC)로 제조된 고성능 솔루션입니다. 이 첨단 4컬럼 웨이퍼 캐리어는 태양광 제조 과정에서 발생하는 극한의 열 및 부식 환경을 견뎌내며, 셀 성능과 생산 효율을 크게 향상시킵니다.
탑콘 배터리 제조 공정에서 반도체 웨이퍼 캐리어는 LPCVD 및 어닐링 공정에서 중요한 역할을 하며, 실리콘 웨이퍼를 안정적으로 지지하는 동시에 열 공정 안정성과 웨이퍼 균일성을 보장합니다. 이 RSiC 웨이퍼 캐리어는 정밀한 공정 제어와 웨이퍼 품질 유지를 통해 배터리 변환 효율 향상에 직접적으로 기여합니다.
견고한 4-컬럼 웨이퍼 캐리어는 폴리실리콘 잉곳 퍼니스의 열장 시스템 내에서도 사용됩니다. RSiC 웨이퍼 캐리어의 탁월한 열 안정성과 낮은 열팽창 계수는 실리콘 잉곳의 품질과 제조 생산성을 크게 향상시킵니다.
재료 기술 매개변수
반도체/태양광 산업 | RSiC |
SiC 순도(%) | 99.9-99.99 |
체적 밀도(g/센티미터3) | 2.65-2.75 |
겉보기 기공률(%) | 15-16 |
실온 강도(MPa) | 90 |
1300℃에서의 강도(MPa) | 100 |
소결체의 접합강도(MPa) | 25 |
제품 상세 정보
RSiC 웨이퍼 캐리어는 첨단 재결정 기술을 통해 탁월한 재료 순도를 달성합니다. 반도체, 태양광 및 주도의 제조 환경을 위해 특별히 설계된 이 반도체 웨이퍼 캐리어는 극한의 열 및 부식 조건에서 웨이퍼와 기판을 안정적으로 지지합니다. 다재다능한 4-컬럼 웨이퍼 캐리어는 화학 기상 증착(CVD), 확산 및 어닐링 공정을 포함한 주요 공정에서 탁월한 성능을 발휘합니다.
애플리케이션
RSiC 웨이퍼 캐리어는 뛰어난 내열성, 내식성, 탁월한 청결성을 활용하여 여러 첨단 제조 분야에 걸쳐 포괄적인 솔루션을 제공합니다.
반도체 제조
반도체 웨이퍼 캐리어는 산화, 확산 CVD, 이온 주입을 포함한 중요한 공정 단계를 가능하게 합니다.
태양광 생산
이 4컬럼 웨이퍼 캐리어는 차세대 탑콘 및 HJT 배터리 기술을 위한 LPCVD 및 어닐링 공정을 지원하여 에너지 효율성과 전환율을 높이는 데 직접적으로 기여합니다.
3세대 반도체 및 주도의 제조
RSiC 웨이퍼 캐리어는 갈륨 질화물 및 SiC 에피택셜 공정 중 사파이어 및 실리콘 카바이드 기판을 안정적으로 지지하며, 암모니아 및 염화수소를 포함한 공격적인 부식성 분위기를 견뎌내는 동시에 고주파 전력 소자 생산을 가능하게 합니다.
추가 고급 응용 프로그램
리튬 배터리 양극 소재 소결 및 핵 소재 열처리를 포함한 신흥 에너지 소재 및 과학 연구 분야에서 반도체 웨이퍼 캐리어는 극한의 작동 조건에서도 뛰어난 내열성, 내식성 및 초청정 성능을 지속적으로 입증하고 있습니다.
포장
우리 팀
당사는 수년간 산업 체인 전반에 걸쳐 실리콘 카바이드 제품의 연구 및 혁신에 전념해 왔습니다. 선도적인 실리콘 카바이드 제조 기술과 경험을 바탕으로, 유명 대학 및 연구소 출신의 우수한 인재들을 영입하여 최고의 R&D 팀을 구성했습니다. 또한, 실리콘 카바이드 원료 및 고순도 실리콘 카바이드 제품의 연구 개발에 전념하여 회사의 장기적인 발전을 위한 탄탄한 기반을 마련하고 있습니다.
