재결정 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들
제품 설명
탄화규소 캔틸레버 패들은 평평한 디자인과 길쭉한 스트립 또는 천공된 형상이 특징인 고성능 세라믹 구조 부품입니다. 이 특수 SiC 캔틸레버 패들은 주로 태양광 및 반도체 웨이퍼 핸들링 시스템에 사용되며, 소결 공정에서 소재를 안정적으로 지지합니다. 당사는 독점적인 고순도 탄화규소 분말(SiC 함량 ㅅㅅㅅ99.9990%)을 사용하여 제조되며, 복잡한 기하학적 요건을 충족하는 수 미터 길이의 대형 SiC 캔틸레버 패들 부품을 생산할 수 있는 독보적인 역량을 보유하고 있습니다. 이러한 첨단 탄화규소 캔틸레버 패들 유닛은 웨이퍼 열처리 및 화학 기상 증착 분야에서 중요한 하중 지지 및 운반 요소로 기능합니다.
재결정 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들의 특성
1. 환경 적응성
고온 내구성: SiC 캔틸레버 패들은 최대 1650°C의 작동 온도에서도 구조적 무결성을 유지하며, 변형 없이 더 높은 단기 열 노출을 견뎌내므로 LPCVD 및 기타 고온 공정에 이상적입니다.
열 충격 저항성: 이 캔틸레버 패들은 낮은 열 팽창 계수로 인해 빠른 열 순환 조건을 견뎌내며, 장비 유지 관리 간격을 크게 연장합니다.
2. 기계적 성능
높은 하중 용량: 뛰어난 굽힘 강도 덕분에 SiC 캔틸레버 패들은 기존 석영 소재에 비해 훨씬 더 높은 웨이퍼 하중을 지지할 수 있어 생산 처리량이 향상됩니다.
마모 및 부식 저항성: 모스 경도 레벨 9로 평가된 SiC 캔틸레버 패들은 산, 알칼리 및 입자 침식에 대한 뛰어난 저항성을 보여주어 오염 위험을 최소화하고 웨이퍼 순도를 보존합니다.
3. 경량 구조 및 연장된 서비스 수명
저밀도 캔틸레버 패들은 기계 시스템 부하를 줄이는 동시에 금속이나 석영 대체품보다 3~5배 더 긴 수명을 제공하여 총 소유 비용을 상당히 낮춥니다.
4. 정밀도와 안정성
뛰어난 표면 마감과 뛰어난 열 안정성 덕분에 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들은 반도체 웨이퍼 가공에 대한 엄격한 정밀 요구 사항을 충족하는 동시에 자동화된 로봇 핸들링을 용이하게 합니다.
특징 및 이점
고온 저항성
열충격 저항성
높은 열전도도
높은 기계적 강도
산 및 알칼리 저항성
내마모성
주요 매개변수
고온 가마 장비 산업 | RSiC |
SiC 함량(%) | ≥99% |
체적 밀도(g/센티미터3) | 2.65~2.75 |
겉보기 기공률(%) | <17 |
실온강도(MPa) | 90~100 |
강도 1300℃(MPa) | 100-110 |
20℃에서의 탄성계수 | 240 |
1200℃에서의 열전도도(W/엠케이) | 36 |
열팽창 x10-6/℃ | 4.6 |
최대 사용 온도(℃) | 1650℃ |
20°C에서의 경도(킬로그램/mm2) | 2000 |
20°에서의 파괴인성(엠팍스엠1/2) | 2.0 |
애플리케이션
SiC 캔틸레버 패들 산업 응용 분야
반도체 제조: 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들은 확산로와 CVD 장비 내에서 필수적인 지지력을 제공하여 안정적인 웨이퍼 처리 환경을 보장합니다.
태양광 생산: 실리콘 웨이퍼 소결로의 중요한 하중 지지 요소인 SiC 캔틸레버 패들은 태양 전지의 효율적인 대량 생산을 가능하게 합니다.
고급 세라믹 가공: 이 지지대 패들은 질화규소와 지르코니아 구성 요소를 포함한 기술 세라믹의 고온 소결을 용이하게 합니다.
유리 산업 응용 분야: 견고한 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들은 고온 유리 가공 시스템에서 용융 유리를 운반하는 롤러 역할을 효과적으로 수행합니다.
회사 소개
20년 이상의 제품 연구 및 혁신을 통해 당사는 산업용 가마 가구, 탄화규소 원료 분말, 친환경 세라믹 필름, 전자 세라믹, 반도체 태양광 등 다양한 산업 분야를 아우르고 있습니다. 당사의 제품은 미국, 일본, 독일, 이탈리아, 스페인, 호주, 남아프리카공화국, 브라질, 태국 등 해외 20여 개국 및 지역에 수출되고 있습니다. 당사는 여러 국가에 대리점을 두고 있으며, 2024년까지 수출량은 전체 생산량의 30%를 차지할 것으로 예상됩니다.
