RSiC 퍼니스 열 차폐 플레이트 챔버 피팅
제품 설명
RSiC 열 차폐판은 확산로, CVD로, 어닐링로 등과 같은 고온 장비의 핵심 구성 요소입니다. RSiC 열 차폐판은 열 손실을 줄이고, 온도 균일성을 유지하며, 외부 구조물을 보호하는 데 중요한 역할을 합니다. RSiC 열 차폐판의 주요 기능은 다음과 같습니다.
단열재: 열처리 및 LPCVD 공정에서 실리콘 보트를 운반하는 데 사용되어 열전달을 효과적으로 차단하고 효율적인 단열을 달성합니다.
온도 균일성 향상: 다층 반사 또는 단열 설계를 통해 가열로 내 열장의 균형 분포를 촉진하고 온도 차이를 ± 1-2℃ 범위 내로 제어합니다.
기계적 지지 기능: RSiC 열 차폐판은 가열 요소, 공정 튜브 또는 칩 운반 장치를 위한 견고하고 안정적인 지지 기반을 제공합니다.
RSiC로 열 차폐판의 특성
고온 내구성: 800~1600℃ 환경에서 장기간 안정적으로 작동할 수 있으며, 다양한 공정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다.
낮은 열전도도: 실온에서의 열전도도는 일반적으로 1W/(m·K) 이하로 열전도를 효과적으로 억제합니다.
화학적 불활성: 다양한 공정 가스(예: O₂, H₂, 염산 등)의 부식에 강하고 안정적인 성능을 유지합니다.
고순도 소재: RSiC 열 차단판은 불순물 함량이 매우 낮아 고온에서 휘발성 물질이 웨이퍼를 오염시키는 것을 방지합니다.
가벼운 구조: 열용량이 작기 때문에 열 차단판은 빠른 가열 및 냉각을 달성하여 공정 효율성을 개선하는 데 도움이 됩니다.
특징 및 이점
· 고온 저항성
· 열충격 저항성
· 높은 열전도도
· 높은 기계적 강도
· 산 및 알칼리 저항성
· 내마모성
주요 매개변수
고온 가마 장비 산업 | RSiC |
SiC 함량(%) | ≥99% |
체적 밀도(g/센티미터3) | 2.65~2.75 |
겉보기 기공률(%) | <17 |
실온강도(MPa) | 90~100 |
강도 1300℃(MPa) | 100-110 |
20℃에서의 탄성계수 | 240 |
1200℃에서의 열전도도(W/엠케이) | 36 |
열팽창 x10-6/℃ | 4.6 |
최대 사용 온도(℃) | 1650℃ |
20°C에서의 경도(킬로그램/mm2) | 2000 |
20°에서의 파괴인성(엠팍스엠1/2) | 2.0 |
제품 상세 정보
반도체 차폐판은 단순한 절연재와는 거리가 멉니다. 절연, 온도 평형, 하중 지지, 오염 방지, 효율 향상 기능을 통합한 핵심 기능 부품으로, 반도체 제조 공정의 성능, 효율, 수율, 비용과 직결됩니다.
포장
우리의 장점
라이즈포트 글로벌 상인들 유한회사.(선양)는 첨단 기술을 갖춘 효율적인 생산 시스템을 통해 전 세계 고객에게 고품질 제품을 공급하며, 탁월한 품질과 신속한 대응을 보장합니다. 해상, 항공, 육로 운송을 통합하는 다양한 물류 솔루션을 바탕으로 전 세계 고객에게 안전하고 신속한 배송을 보장하는 완벽한 엔드 투 엔드 서비스를 제공합니다. 비표준 크기부터 완벽한 OEM/ODM 설계까지, 고객의 요구에 맞춰 정밀한 사양을 제공하는 데 특화되어 있습니다.
