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SiC 웨이퍼 보트는 반도체 제조 및 결정 성장 공정에서 핵심적인 운반 수단으로, 주로 고온 환경에서 실리콘 웨이퍼나 실리콘 카바이드 기판을 운반하는 데 사용됩니다. 탄화규소 웨이퍼 보트는 순도가 높고, 고온 내구성(1600°C 이상), 산 및 알칼리 부식 저항성, 열팽창 계수가 낮고, 열전도도가 높은 등의 장점이 있습니다.

RSiC 웨이퍼 보트는 반도체 제조 및 결정 성장 공정에서 핵심적인 운반 수단으로, 주로 고온 환경에서 실리콘 웨이퍼나 실리콘 카바이드 기판을 운반하는 데 사용됩니다. 수평 웨이퍼 보트는 수평 확산로에 사용됩니다.

RSiC 웨이퍼 보트는 반도체 제조에 필수적인 부품으로, 고온 공정에서 웨이퍼를 안전하게 고정하도록 설계되었습니다. RSiC 웨이퍼 보트는 고온 내성, 뛰어난 열충격 저항성, 우수한 산 및 알칼리 내식성, 높은 순도 및 구조적 안정성을 갖추고 있습니다.