프로세스 튜브/RSiC 퍼니스 튜브 고순도 박벽
제품 설명
확산로, CVD로, 어닐링로 등 반도체 및 태양광 제조용 고온 장비에서 RSiC 퍼니스 튜브는 주 공정 튜브 내부 또는 외부에 설치되는 핵심 보조 구성 요소이며, 공정 튜브의 역할은 단순한 물리적 보호를 훨씬 넘어섭니다.
용광로 튜브는 금속 오염을 방지하여 공정 중 오염 제어와 순도를 보장합니다.
주요 공정 튜브를 보호하고 장비의 수명을 연장합니다.
RSiC 퍼니스 튜브는 고온, 부식성, 고순도 공정에서 반도체, 태양광 발전, 3세대 반도체와 같은 첨단 제조 분야에서 상당한 이점을 제공합니다.
RSiC 퍼니스 튜브의 특성
1. 매우 높은 온도 성능: 최대 1600℃의 온도로 석영 공정관(1200℃ 한계)과 일반 세라믹 공정관을 훨씬 능가합니다.
2. 우수한 열충격 저항성: 공정 튜브는 1000℃/min의 빠른 온도 상승 및 하강을 견딜 수 있습니다.
3. 매우 강력한 화학적 불활성: 염산, 클₂, HF 등의 부식성 가스에 대한 내성이 있습니다.
4. 초고순도, 저오염: 금속 불순물 함량<1ppm;
5. 긴 수명: 강력한 퇴적 방지 능력과 낮은 유지 보수 비용;
6. 열장 균일성 최적화: RSiC 퍼니스 튜브는 높은 열전도도, 빠른 균질화, 퍼니스 내 축 방향 온도 차이 감소(± 0.3℃ 이내로 제어 가능) 등의 특징을 가지고 있습니다.
주요 매개변수
고온 가마 장비 산업 | RSiC |
SiC 함량(%) | ≥99% |
체적 밀도(g/센티미터3) | 2.65~2.75 |
겉보기 기공률(%) | <17 |
실온강도(MPa) | 90~100 |
강도 1300℃(MPa) | 100-110 |
20℃에서의 탄성계수 | 240 |
1200℃에서의 열전도도(W/엠케이) | 36 |
열팽창 x10-6/℃ | 4.6 |
최대 사용 온도(℃) | 1650℃ |
20°C에서의 경도(킬로그램/mm2) | 2000 |
20°에서의 파괴인성(엠팍스엠1/2) | 2.0 |
제품 상세 정보
RSiC로관/공정관, 소결체의 순도는 3N 이상이며, 공정관의 가공 정밀도는 0.01mm입니다.
포장
회사 소개
실리콘 카바이드(SiC)의 전체 산업 체인 서비스를 전문으로 하는 무역 기업인 라이즈포트 글로벌 상인들 유한회사.(선양)는 비즈니스 모델과 가치 사슬 측면에서 해외 무역 플랫폼에서 상당한 우위를 가지고 있습니다.이 기업은 산업 체인을 통합할 수 있는 능력을 갖추고 있습니다. 상류: 국내 선도적인 실리콘 카바이드 생산 기업과 연결하여 원자재, 제품(연마재, 세라믹 부품), 반도체 장치(웨이퍼, 전력 모듈)의 전체 범위를 포괄합니다.다운스트림: 해외 구매자에게 서비스를 제공하고, 맞춤형 서비스를 제공하며, 원스톱 조달 솔루션을 제공합니다.조달, 물류, 통관, 국경 간 결제 등에 대한 고품질 서비스를 제공합니다.
