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반도체로용 튜브(확산로, 산화로 등에 사용되는 튜브)는 초고순도, 고온 안정성, 열충격 저항성과 같은 엄격한 요구 사항을 충족해야 합니다. RSiC 퍼니스 튜브는 뛰어난 특성으로 인해 주류 소재가 되었습니다. 소결체의 순도는 3N 이상이고, 가공 정밀도는 0.01mm입니다.

RSiC 퍼니스 튜브: 재결정 탄화규소 퍼니스 튜브는 반도체 제조 장비의 핵심 부품으로, 주로 고온 공정 챔버(예: 에피택셜 성장, 이온 주입, 확산로 등)에 사용됩니다. 소결체의 순도는 3N 이상이며, 가공 정밀도는 0.01mm에 달하여 초고순도, 내식성, 정밀 치수 요건을 충족합니다.