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RSiC 퍼니스 튜브: 재결정 탄화규소 퍼니스 튜브는 반도체 제조 장비의 핵심 부품으로, 주로 고온 공정 챔버(예: 에피택셜 성장, 이온 주입, 확산로 등)에 사용됩니다. 소결체의 순도는 3N 이상이며, 가공 정밀도는 0.01mm에 달하여 초고순도, 내식성, 정밀 치수 요건을 충족합니다.
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