용광로 튜브 및 부속품

반도체로용 튜브(확산로, 산화로 등에 사용되는 튜브)는 초고순도, 고온 안정성, 열충격 저항성과 같은 엄격한 요구 사항을 충족해야 합니다. RSiC 퍼니스 튜브는 뛰어난 특성으로 인해 주류 소재가 되었습니다. 소결체의 순도는 3N 이상이고, 가공 정밀도는 0.01mm입니다.

퍼니스 챔버 단열 배럴은 단결정 실리콘 성장 및 웨이퍼 열처리와 같은 반도체 제조 공정에 사용되는 핵심적인 열장 구성 요소입니다. 단열 배럴은 극한의 고온, 높은 순도, 우수한 단열성 등의 요구 사항을 충족해야 합니다.

용광로 열 차단판은 고온 반도체, 태양광 발전의 핵심 부품입니다. RSiC 열 차단판 신소재 소결 장비. RSiC 열 차단판은 고온 내구성, 열 손실 낮음, 긴 사용 수명의 특성을 가지고 있습니다.

재결정된 탄화규소 캔틸레버 패들은 우수한 고온 저항성, 내식성, 내마모성 및 양호한 열충격 안정성으로 인해 화학, 야금, 환경 보호 및 반도체와 같은 산업에서 주로 사용되는 고성능 세라믹 부품입니다.

RSiC 퍼니스 튜브: 재결정 탄화규소 퍼니스 튜브는 반도체 제조 장비의 핵심 부품으로, 주로 고온 공정 챔버(예: 에피택셜 성장, 이온 주입, 확산로 등)에 사용됩니다. 소결체의 순도는 3N 이상이며, 가공 정밀도는 0.01mm에 달하여 초고순도, 내식성, 정밀 치수 요건을 충족합니다.